Reinraumlabor - Willkommen am saubersten Ort der ±«²Ô¾±±¹±ð°ù²õ¾±³Ùä³Ù
Für Arbeiten und Versuche, die eine partikelfreie Umgebung benötigen, betreibt die Hochschule ein Reinraumlabor, das für Lehre und Forschung genutzt wird. Das Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der TU Bergakademie Freiberg befindet sich in einem Seitenflügel des Gellertbaus, in dem die Physikalischen Institute untergebracht sind.
Kontakt
Ausstattung
Zur Fertigung mikroelektronischer Bauteile stehen zahlreiche Technologien zur Verfügung.
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Abscheideverfahren
chemische und physikalische Abscheidung, Atomlagenabscheidung
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²Ñ±ð²õ²õ²µ±ð°ùä³Ù±ð + Glove-Box
Charakterisierung von Schichten und Strukturen
